微小流量高精度控制,控制穩(wěn)定、無脈動、無斷流,滿足薄膜沉積精密工藝要求。
全流道無死區(qū)設計,低殘留、低吸附,保障超高純液體輸送潔凈度。
響應速度快、控流精度高,流量重復性好,提升成膜均勻性與產品良率。
密封安全可靠,低泄漏率,適配易燃易爆、有毒有害特種液體,運行更安全。
數(shù)字式顯示 + 標準通訊接口,可遠程監(jiān)控、自動調節(jié),易接入自動化產線。
結構緊湊、安裝方便,耐溫耐壓范圍寬,適用于半導體、CVD、ALD 等設備配套。
廠家直供,性能對標進口,供貨穩(wěn)定,性價比高,售后響應更快。



























