微小流量高精度控制,控制穩(wěn)定、無脈動(dòng)、無斷流,滿足薄膜沉積精密工藝要求。
全流道無死區(qū)設(shè)計(jì),低殘留、低吸附,保障超高純液體輸送潔凈度。
響應(yīng)速度快、控流精度高,流量重復(fù)性好,提升成膜均勻性與產(chǎn)品良率。
密封安全可靠,低泄漏率,適配易燃易爆、有毒有害特種液體,運(yùn)行更安全。
數(shù)字式顯示 + 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口,可遠(yuǎn)程監(jiān)控、自動(dòng)調(diào)節(jié),易接入自動(dòng)化產(chǎn)線。
結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便,耐溫耐壓范圍寬,適用于半導(dǎo)體、CVD、ALD 等設(shè)備配套。
廠家直供,性能對(duì)標(biāo)進(jìn)口,供貨穩(wěn)定,性價(jià)比高,售后響應(yīng)更快。


























